3Dデジタルマイクロスコープ機器のご紹介 SOLIDSCANNERによる観察像
非接触レーザプローブによる3次元精密計測の実現。３Ｄ観察用共焦点レーザ顕微鏡機器による形状解析機能の充実。
非接触3次元レーザ計測装置関連の新製品のご紹介。高度な3次元レーザースキャン技術と画像データの解析処理技術によって、迅速かつ精密な計測、省スペースで、可搬性に優れた使いやすさを追求した3次元レーザデジタルマイクロスコープです。３Ｄレーザ測定では、詳細な3次元スキャンニングによって、金属、半導体、樹脂など、被写体材料の表面凹凸状態を問わず、均質に３Ｄスキャンをすることが可能です。高精度測定によって得られた画像データは、さまざまな形状解析結果として画像解析が可能です。SOLIDSCANNERでは、独自の３次元スキャナを共焦点原理に実装することで、短時間計測、信頼性向上、長寿命、優れたコストパフォーマンスを達成いたしております。 半導体材料や金属配線などの観察では、その凹凸情報とともに、優れた観測結果や計測結果を収集できます。PVセルなどの金属配線材料の塗布状態などの加工表面の状態を簡単にライン上で知ることができます。 さまざまな表面の状況に応じて、センサ感度のダイナミックレンジを自動調節します。本製品には自社開発の製品を内蔵し、多点計測を繰り返し連続してノイズ除去対策を行います。このように複数回の3次元計測中で、レーザ測定のＳＮを向上させております。
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