非接触3次元測定器SOLIDSCANNERの優れた特徴
■ 非接触3次元測定器としての高低差マッピングおよび形状解析機能
本製品の3次元測定による高低差は、米国標準のトレーサビリティ体系によって、10nm単位でキャリブレーションされています。3次元測定精度は、レーザ干渉計方式によって、計測レンジ最小〜最大間のリニアリティを保証します。再現性は、サブミクロン単位での検証をいたしております。 非接触による３次元測定によって高精度な高低差の２次元分布表示は、最大解像度4000x4000pointまで、幅広いレンジをカバーします。高低差の数値最小単位は0.01um表示。 マッピングによる3次元測定範囲は、最大70x70mmまで可能です。 傾き補正によるを用いて、平坦化や、うねり除去など豊富な機能により、正確な凹凸判定を3次元測定によって達成しました。3次元形状解析では、各段差のプロフィール抽出によって断面表示をします。測定段差の立ち上がり角度を算出したり、バンプ・ビアの立上り角度などを知る上でも重要な計測方法です。また精密加工品のエッジ部分の角度測定などにも3次元測定により可能な機能です。
SOLIDSCANNERでは、サブミクロンの薄膜厚測定においても、同じく高低表現をすることができます。高分子薄膜など透明膜の段差を計測において、プロフィールの傾き補正機能をすれば、より精密な3次元測定結果を表示することが可能です。高精細な厚みの面分布に加え、ワーク本来の表面の状態を３Ｄイメージの濃淡表示にて、同時観測するなど、自由に表現することが可能です。
