３次元計測に関するデジタルマイクロスコープ機器／非接触・非破壊精密３次元計測　

■レーザープローブによる非接触・非破壊３次元計測機器、３Ｄ顕微鏡観察結果を共に忠実に再現。
■さらにコストパフォーマンスに優れた３次元計測・非接触精密計測機器　SOLIDSCANNERです。

３次元計測｜非接触レーザ３次元計測器。非接触３次元計測用レーザスキャナ関連の新製品のご紹介です。高度な３次元レーザースキャンニング制御技術と画像データの解析処理能力によって、迅速かつ精密な３Ｄ計測、省スペースで、可搬性に優れた使いやすさを追求しました。３次元計測機器には、微小レーザプローブと３Ｄレーザスキャナを内蔵し、独自技術によって高速かつＳＮ比の向上を実現しております。非常に精密な光軸角度制御を行う３Ｄレーザスキャンテクノロジーによって、金属、半導体、樹脂をはじめ、さまざな被写体材料の表面凹凸の観測が可能となりました。均質な光学スキャンによって得られた３次元測定画像データは、さまざまな形状解析結果を示すことが可能です。SOLIDSCANNERでは、独自の３次元スキャナをコンフォーカル原理等の３Ｄ測定手法を取り入れることによって広視野から微細領域まで、短時間で計測し、信頼性が向上され、長寿命、優れたコストパフォーマンスを達成いたしております。
　３Ｄ計測時に収集したパラメータには、座標位置ポイント、反射率、透過率、色情報などがあり、そのデータ解析によって、さまざな３Ｄ測定の応用にご利用いただけます。SOLIDSCANNERによる３次元計測では、各測定ポイントにおける凹凸、表面粗さ、角度計測や、曲率計測に加えて、表面積や色識別、さらには、膜厚計測、透過度など、さまざなな３次元データの解析を行うことができます。従来の３Ｄ画像計測に比べ、１検体に行う計測回数を増やし、ノイズを大幅に改善しました。これによって、３次元計測の優れた繰り返し再現性を実現しております。 ３Ｄデジタルマイクロスコープによる金属表面など微細構造評価には、この再現性によって被写体の状態をリアルに再現することが可能です。このように３Dデジタルマイクロスコープの計測速度とＳＮ比を、大幅に改善することで、樹脂・紙・繊維材料や着色染料・塗料などの色、反射率、凹凸表面状態などの判別がより精密となりました。このようにデジタルマイクロスコープ観察、非破壊・非接触３次元計測にとって便利なさまざまな機能を備えています。さらに、オールインワンに収納するとともに、コストパフォーマンスを追求いたしました。最高のレーザ顕微鏡観察ツールとしてご利用いただけます。レーザプローブを用いたSOLIDSCANNER３次元計測では、各３Ｄ測定ポイントにおける角度計測や、曲率計測に加えて、ＪＩＳ表面粗さ計測などのデータ解析を行います。微細構造体の表面積の計測など、サンプルを問わず、その表面状態に応じて、センサ感度のダイナミックレンジを自動調節することにより、３軸の座標位置を鮮明にとらえることが可能です。本製品にはスキャンニング制御の独自技術を内蔵するとともに、光学パターンの読み込みを同時に行うことで、視野の広いものから微細なものまで、高速多点による３次元計測によって、連続して被写体を計測します。これによって、ホワイトノイズなど従来のノイズ除去性能を一段と向上しております。このように複数回の３次元計測はレーザ測定のＳＮ比を向上することとともに、外乱にあたる振動条件下でも高精度に計測できます。環境を問わない点はレーザ顕微鏡観察や３次元計測機器には必須条件となっており、被写体の表面状態をよりリアルに再現できるようになりました。

計測条件：　 ■サンプル：透明樹脂 ■対物レンズ：20×、ズーム：1×、計測視野：630×630μｍ ■XY分解能：500×500pixel、Z計測分解能：0.65μｍ、Z測定幅：31.20μｍ