
3次元共焦点計測製品|レーザ3D共焦点顕微鏡の新製品のご紹介
■マイクロスコープには、オプトプロファイリングによるリアルな3次元測定機能を追加。
■3次元測定にカラー、表面凹凸・粗さ、3D曲率、3次元角度、表面積等のデジタル情報を1つに合成。
■0.01um単位の3Dレーザープローブ走査による高輝度観察。
■非接触・非破壊計測、操作性、省スペース、価格性能を向上。
■多機能な計測メニュー、高分解能、高低によるエッジの検出。高視認性3Dマイクロスコープ。
■デジタルマイクロスコープでは難しい薄膜材料・透明材料・樹脂観察が高輝度で3次元形状測定用途に最適。
■焦点法を生かした精密計測と計測速度の改善、操作性、省スペース、そして価格性能。
■低倍率撮像から高倍率観察までの応用用途。
■品質保証のための最適ツール
3次元共焦点計測製品|レーザ3D共焦点顕微鏡の新製品のご紹介のご紹介です。
近年、オプトエレクトロニクス(電子・光学)関連材料の微細加工技術の進歩にとなない、その形状検査・評価において、その計測精度や計測速度の向上、操作性における改善が求められています。当社では半導体、FPD(表示素子、表示デバイス、大画面フラットパネル)をはじめ微細加工物(樹脂成形、MEMS、金属メッキコート、3次元プリント)など、さまざまな立体構造を短時間かつ高精度で形状観察することを目標とし、価格および性能の両立を実現した製品を目指しております。3Dレーザースキャナの制御技術と画像データの解析性能を持つレーザマイクロスコープによって、迅速かつ精密な3次元計測、省スペースで、可搬性に優れた計測器の使いやすさが、このマイクロスコープの最大の特長です。
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多機能なプロファイルシステム。解析メニューを充実させ、分解能は数十ナノメートルからサブミクロンメートルレベルの3次元計測が可能なマイクロスコープ。あらゆる形状計測に最適。さらに広い視野を短時間で計測するため、ロングストロークの自動ステージとの組み合わせが可能(最大70〜100mm視野の3次元測定)。観察像は、従来に比較し高輝度だから細部が鮮明。特に透明ワークでもその表面をリアルに再現。さらに、従来の撮像素子による画像計測では、画像濃淡によるエッジによる計測が主でしたが、照明影の外乱要素などが原因で、正確な計測を行うことが困難でした。SOLIDSCANNERでは、レーザによる高輝度計測によって、従来の外乱要素を抑え、輪郭の鮮明さを実現します。さらに、高低計測を反映した文字通りのエッジ部分を判定できることから、画像計測の精度やRMS繰り返し再現性を格段に向上させました。
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プロファイルシステムにおいては、さらなる計測時間の向上を実現。0.01um単位のレーザビームのXY・Z走査時間の短縮化や画像取得の効率化、計測位置の割り出しアルゴリズムに加えて、最新ハードウエアテクノロジによって制御・画像処理時間を向上させました。ネットワークによる計測と解析の同時進行により、セッティングから計測、解析まで、プロセス全体の高速化、トータル作業時間の大幅な短縮を実現しました。試料セッティング時にフォーカス位置を自動的に検知する「オートアプローチ機能」を搭載。
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