高輝度デジタルマイクロスコープ、３Ｄデジタルマイクロスコープ関連の新製品のご紹介

■レーザー走査による高輝度リアルなカラー画像が特長。３Ｄデジタルマイクロスコープ。
■多機能な計測メニュー、高分解能、濃淡検出から高低によるエッジの検出。高視認性デジタルマイクロスコープ。

高輝度デジタルマイクロスコープ、３Ｄデジタルマイクロスコープ関連の新製品のご紹介です。デジタルマイクロスコープでは、３次元レーザースキャナの制御技術とカラー画像データの解析性能によって、迅速かつ精密な３Ｄ計測、省スペースで、可搬性に優れたデジタルマイクロスコープの使いやすさを追求いたしております。多機能な計測メニューを充実させ、分解能は数十ナノメートルからサブミクロンメートルレベルの計測が可能です。従来のデジタルマイクロスコープ画像の濃淡によるエッジの認定ではなく、高低計測結果を反映したエッジを検出できることから、計測精度は従来の画像計測に比較して格段に向上します。校正精度は国際標準のレーザ測距技術であるダイナミックキャリブレータに基づいて１０ナノメートル単位で、デジタルマイクロスコープの視野および高さのフルスパンの測定レンジを積算し検証しています。観察像は、レーザを使用した視認性の高い高輝度像です。これらによって、従来のデジタルマイクロスコープでは、判別しづらい輪郭が鮮明になりました。 さらにネットワーク計測に対応。ＰＣと本体とのイーサネット接続環境において、ＩＰアドレス管理による複数計測や遠隔操作などにも対応し、長距離敷設によるの計測・制御に対応しています。振動対策を考慮すればロボットへの搭載も可能です。３Ｄデジタルマイクロスコープには、微小レーザプローブと３Ｄレーザスキャナを内蔵し、独自技術によって高速かつＳＮ比の向上を実現しております。精密な光軸角度制御を行う３Ｄレーザスキャンテクノロジーによって、金属、半導体、樹脂をはじめ、さまざな被写体材料の表面凹凸や表面粗さの観測が可能となりました。デジタルマイクロスコープの持つネットワーク機能によって、計測と解析を同時に実現、さらに遠隔操作によって、振動を抑えた環境下での計測が可能となりました。数十ナノレベルの計測では、振動除去が大きな課題でしたが、高速計測やＳＮ向上、さらには構造体の対策によって、省スペースでの計測、振動環境を整える付属設備も省力化できます。３ＤデジタルマイクロスコープSOLIDSCANNERでは、均質な光学スキャンが実現されており、そして得られた３次元測定画像データは、さまざまな形状解析結果を示すことが可能です。SOLIDSCANNERは、独自の３次元スキャナをコンフォーカル原理等の３Ｄ測定手法に取り入れることによって広視野から微細領域まで、短時間で計測し、信頼性が向上され、長寿命、優れたコストパフォーマンスを達成いたしております。 ３Ｄデジタルマイクロスコープの計測時に収集したパラメータには、座標位置、反射率、透過率、カラー情報などがあり、３Ｄ測定情報に付加されたこれらの情報を応用すれば、データ解析がより信頼性の高いものとなります。たとえば、カラー情報によって、濃淡表示だけで判別しにくい、異質物や境界の特定が可能です。さらに、3次元の高低・カラー情報によって、段差を特定することができます。SOLIDSCANNERによる３Ｄデジタルマイクロスコープ観察では、各測定ポイントにおける凹凸、表面粗さ、角度計測、曲率計測に加えて、表面積や色識別、さらには、膜厚計測、透過度など、さまざまな３次元データの解析を行うことができます。従来の３Ｄデジタルマイクロスコープに比べ、各サンプルの計測回数を増やし、ノイズを大幅に改善しました。これによって、３Ｄデジタルマイクロスコープの優れた繰り返し計測精度を実現しております。 デジタルマイクロスコープによる金属表面など微細構造評価には、この再現性によって被写体の状態をリアルに再現することが可能です。表面の質感を目視により確認することが可能なのでワイヤフレームによる３次元座標の情報がよりわかりやすくなります。また透明樹脂のような、従来のデジタルマイクロスコープでは計測しづらい材料についてみると、レーザ光源を用いることで、アウトラインを把握しやすくなるほか、表面の微細な状態も同時に把握できる点が、SOLIDSCANNERの特長です。３Dデジタルマイクロスコープの計測速度とＳＮ比を、大幅に改善したメリットは、さまざまな点に活用されています。樹脂・紙・繊維材料や着色染料・塗料などの色、反射率、凹凸表面状態などの判別が向上したことも、その効果のひとつにあげられます。３Ｄデジタルマイクロスコープ観察、非破壊・非接触３次元計測にとって、状況に応じたパラメータ変更などのノウハウを凝縮させ、操作性のよいさまざまな機能を備えています。さらに、ハードウエアや機能をオールインワンに収納すると同時に、コストパフォーマンスを追求いたしました。最高のデジタルマイクロスコープの観察ツールとしてご利用いただけます。レーザプローブを用いたSOLIDSCANNER３Ｄデジタルマイクロスコープによる多機能計測では、従来の画像計測ではあいまいな、エッジの検出を濃淡から高低さに変更することで、その検出精度を向上させています。デジタルマイクロスコープによる、各３Ｄ測定ポイントは、濃淡ではなく高低さに設定することができるため、距離、角度、曲率など従来の画像計測に比べ、計測ワークの寸法を正しく認識することが可能です。３ＤデジタルマイクロスコープSOLIDSCANNERのこれらの計測精度におけるトレーサビリティは、国際標準のレーザ測距技術ダイナミックキャリブレータによって、１０ナノメートル単位で、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向のキャリブレーション証明を実施しています。　このような計測精度に基づいた、ＪＩＳ表面粗さ計測などのデータ解析を行うことも可能です。　そのほか、微細構造体の表面積や体積の計測精度なども、このデジタルマイクロスコープの校正精度にもとづいたものです。サンプルを問わず、その表面状態に応じて、センサ感度のダイナミックレンジを自動調節することにより、３軸の座標位置を確実にとらえることが可能です。本製品には測長、スキャンニング制御の独自技術を内蔵するとともに、光学パターンの読み込みを同時に行うことで、視野の広いものから微細なものまで、高速多点による３次元計測によって、連続して被写体を計測します。これによって、デジタルマイクロスコープのホワイトノイズなど従来のノイズ除去性能を一段と向上しております。複数回による３次元計測は、外乱である振動条件下でも高精度に計測できます。これは３Ｄデジタルマイクロスコープによる計測で、重要な環境に左右されにくいという条件にマッチしています。これらによって被写体の凹凸形状をより精密に再現できるようになりました。

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