 レーザ３次元共焦点計測製品、非接触３次元共焦点計測器の新製品のご紹介
■高輝度でリアルなカラー共焦点画像が特長。
■３次元共焦点計測による微細構造の色、輝度、表面凹凸、表面粗さ等あらゆる情報を１つに。
■３次元レーザー走査による３次元共焦点計測。
■多機能な計測メニュー、高分解能。高視認性３次元共焦点計測器。
■さらにネットワーク機能や可搬性を加えコストパフォーマンスを追及した共焦点顕微鏡。
レーザ３次元共焦点計測製品、非接触３次元共焦点計測器関連の新製品のご紹介です。レーザ３次元共焦点計測器では、独自のスキャナ光学配置による共焦点光学系への導入と、３次元レーザースキャナの制御技術、そしてカラー画像データの解析性能によって、迅速かつ精密な３Ｄ共焦点計測、省スペースで、可搬性に優れた３次元共焦点計測器の使いやすさを追求いたしております。多機能な計測メニューを充実させ、分解能は数十ナノメートルからサブミクロンメートルレベルの共焦点計測が可能です。従来の共焦点計測に比べ、より正確に、より速く計測します。画像計測性能も充実。画像濃淡によるエッジ計測から、正確な共焦点段差検出によるエッジ検出へ。レーザ３次元共焦点計測では、レーザによる高輝度計測によって、照明による影要素を抑え、鮮明な輪郭の抽出を実現します。さらに、微細な測定物でも、高低計測結果を反映した文字通りの輪郭検出できることから、３次元計測精度は従来の画像共焦点計測に比較して、精度や繰り返し再現性において格段に向上しました。また、共焦点による計測は画像認識精度にも貢献します。
このように3次元計測結果は、レーザを使用した視認性の高い高輝度像から得られます。分解能を左右するレーザビーム径を損なわず、ＸＹ方向へ高速走査が可能でＺ方向も追加された独自のSOLIDSCANNER技術では、従来のレーザ３次元共焦点計測器よりＳＮが向上し、計測時間も短縮されました。カラー顕微鏡観察では判別しづらい輪郭が鮮明になります。３次元計測器としての性能を左右する校正精度は国際標準のレーザ測距技術であるダイナミックキャリブレータに基づいており、１０ナノメートル単位で、レーザ３次元共焦点計測器のＸＹ方向の視野と高さ方向の検証をしております。測定範囲を最大値として、その値からのエラー値は、たとえば高さ方向で、測定範囲に対して絶対精度±0.5um （再現性3σ＝0.05um）を確認しています。SOLIDSCANNER独自の、複数画像による3次元合成が顕微鏡画像でも高精度に実施できます。
さらにネットワーク３次元共焦点計測に対応。イーサネット接続環境において、ＩＰアドレス管理による複数計測や遠隔操作などにも対応し、長距離敷設によるの計測・制御に対応しています。３Ｄレーザ３次元共焦点計測器には、微小レーザプローブと３Ｄレーザスキャナを独自光学系に内蔵し、高速かつＳＮ比の向上を実現しております。精密な光軸角度制御を行う３Ｄレーザスキャンテクノロジーによって、金属・透明薄膜、透明構造物、半導体、樹脂をはじめ、さまざな被写体材料の表面凹凸や表面粗さの観測が可能となりました。SOLIDSCANNER共焦点計測器の持つネットワーク機能によって、共焦点計測と解析を同時に実現、さらに遠隔操作によって、振動を抑えた環境下での共焦点計測が可能となりました。ナノメートルレベルの共焦点計測では、振動除去が大きな課題でしたが、高速計測やＳＮ向上、さらには構造体の対策によって、省スペースでの3次元共焦点計測が可能となり、それによって振動環境を整える付属設備も省力化できます。３Ｄレーザスキャンによる３次元共焦点計測器SOLIDSCANNERでは、均質な光学スキャンが実現されており、得られた３次元測定画像のデータは、さまざまな形状解析結果を示すことが可能です。SOLIDSCANNERは、独自の３次元スキャナをコンフォーカル原理等の３Ｄ測定手法に取り入れることによって広視野から微細領域まで、短時間で計測し、信頼性が向上され、長寿命、優れたコストパフォーマンスを達成いたしております。
３Ｄレーザスキャンによる３次元共焦点計測器で収集される測定パラメータには、座標位置、反射率、透過率、カラー情報などがあり、３Ｄ共焦点計測結果に付加されたこれらの情報を応用すれば、データ解析がより信頼性の高いものとなります。たとえば、高倍率下では、判別しにくい、フラットネスや異質物や境界特定が、リアルなカラー情報に加え、高コントラスト輝度表示により視認性が格段に向上しました。さらに、３次元の高低・カラー情報によって、段差を特定も正確にできます。SOLIDSCANNERによる３次元共焦点計測では、各測定ポイントにおける凹凸、表面粗さ、角度共焦点計測、曲率共焦点計測に加えて、表面積や色識別、さらには、膜厚共焦点計測など、さまざまな３次元データの解析を行うことができます。従来の３次元共焦点計測器に比べ、３Ｄレーザスキャンの回数を短時間で複数回実施、３次元共焦点計測ノイズを大幅に改善しました。これによって、３Ｄレーザスキャンによる３次元共焦点計測の優れた共焦点計測精度を実現しております。 また、計測ヘッドをアクチュエータに搭載し、広範囲計測の実現できます。特に透明樹脂構造体など、表面の状態だけでなく、構造体のアウトラインの把握なども可能となりました。 レーザ３次元共焦点計測器による金属表面など微細構造評価には、SOLIDSCANNER共焦点計測器の優れた再現性によって被写体の状態をリアルに再現することが可能です。表面の質感を目視により確認することが可能なのでワイヤフレームによる３次元座標の情報がより理解しやすいものとなりました。このように、従来の画像計測器では計測が難しい材料においても、３Ｄレーザスキャンによる共焦点計測によって、アウトラインを把握しかつ、同時に微細な表面状態を把握できる点が、SOLIDSCANNERの最大の特長のです。３Dレーザスキャンによる３次元共焦点計測器の計測速度とＳＮ比を、大幅に改善したメリットは、さまざまな点に活用されています。樹脂・紙・繊維材料や着色染料・塗料などの色、反射率、凹凸表面状態などの判別が向上したことも、その効果のひとつにあげられます。SOLIDSCANNERの非破壊・非接触３次元共焦点計測では、状況に応じたパラメータ変更などのノウハウを凝縮させて、操作性のよいさまざまな機能を備えています。さらに、ハードウエアや機能をオールインワンに収納すると同時に、コストパフォーマンスを最大限追求いたしました。最高のレーザスキャンによる３次元共焦点計測器としてご利用いただけます。レーザプローブを用いたSOLIDSCANNER３Ｄスキャンによる多機能な共焦点計測では、従来の画像計測ではあいまいな、エッジの検出を濃淡から高低検出に変更することで、その検出精度を格段に向上させています。レーザ３次元共焦点計測器による、各３Ｄ計測ポイントは、濃淡ではなく高低さに設定することができるため、距離、角度、曲率など従来の画像共焦点計測に比べ、共焦点計測ワークの寸法を正しく認識することが可能です。高精度の認識とともに重要なのが、測距精度です。３次元共焦点計測器SOLIDSCANNERの計測精度のトレーサビリティは、国際標準のレーザ測距技術ダイナミックキャリブレータによって、保証されています。１０ナノメートル単位で、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向のキャリブレーションを実施しています。このように高い計測精度をもとに、ＪＩＳ表面粗さ計測などのデータ解析を行うことも可能です。 微細構造体の表面積や体積の計測精度なども、このレーザ３次元共焦点計測器の校正精度にもとづいたものです。サンプルを問わず、その表面状態に応じて、センサ感度のダイナミックレンジを自動調節することにより、３軸の座標位置を確実にとらえることが可能です。本製品には測長、スキャンニング制御の独自技術を内蔵しております。高速３次元計測によって、連続して被写体を計測し、広範囲な顕微鏡観察も可能です。SOLIDSCANNERの高速性能によって、レーザ３次元共焦点計測の従来のノイズ除去性能を一段と向上しました。複数回による３次元計測は、外乱要因の振動環境に強く高精度に計測、そしてリアルに観察できます。これは３次元共焦点計測器の中で、最も重要な点です。計測環境に左右されにくいことは、被写体の凹凸形状をより精密に再現するもので、３次元共焦点計測器SOLIDSCANNERが最も充実している点です。
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