計測条件：　
■サンプル：80μφ金属導線
■対物レンズ：50×(NA:0.95)、ズーム：2×、計測視野：240×240μｍ
■対物レンズ：100×（NA:0.8）、ズーム：2×、計測視野：140×140μｍ
■XY分解能：500×250pixel、Z計測分解能：0.3μｍ、Z測定幅：215μｍ

計測原理　：　計測時には、反射率の低いところや材質に合わせて検出器の感度調整を行います。右下図に、材質・特性と計測感度について記しています。