 ３Ｄレーザスキャナによる３次元測定器／非接触・非破壊精密３次元計測関連製品
■レーザースキャナで広がる３次元測定の可能性。色、輝度、表面凹凸、表面粗さなど情報を１つに。
■レーザー顕微鏡観察、３Ｄデジタルマイクロスコープによるリアルな解析。
■さらにネットワーク機能や可搬性を加えコストパフォーマンスを追及した３次元精密計測器です。
|
レーザ顕微鏡の3次元計測の解像度
３次元レーザ計測は、計測中のSNに大きく依存します。受光ノイズは高さ方向の誤差表示となって現れるため、３次元計測結果に大きく影響を与えます。また解析結果にも大きな影響をあたえる場合があります。 SOLIDSCANNERでは、さまざまなローノイズ対策を行い、高精細な画像表示を実現しております。 内蔵のズーム機能によって、計測試料に応じた、高画素の３D画像計測が可能です。従来の光学計測では、難しいとされていた透明・薄膜材料に関しても、レーザ計測の特徴をいかした方法により、簡単に計測結果が得られます。
低反射率材料：
高分子のような低反射率材料のようなものも高感度に微小な反射光を検出します。ローノイズ化を実現し、図のような観測も、画像処理にて平均化せずに表示することが可能です。
|
 |
レーザ3次元計測の凹凸形状解析
金属加工あるいは、透明材料を問わず超精密加工製品は、サブミクロンピッチ精度や、サブミクロン凹凸精度が要求されています。そのようなニーズに答えるには、レーザ顕微鏡計測が最適です。レーザによる3次元計測では、色素を導入したような対象物にも顕微鏡観察ができます。レーザの透過率、反射率、吸収率は、ワークの性状に大きく依存し、パラメータはまちまちです。３Dデジタルマイクロスコープでは、共焦点光学系、高NA対物レンズ、高い検出精度や広い検出ダイナミックレンジを達成することで、精密な3次元計測が容易になりました。レーザによる3次元計測では、反射率・透過率・吸収率の違いが、ワークによりさまざまであっても、リアルに３D表示されます。距離・凹凸計測などあらゆる3次元計測では、３Dデジタルマイクロスコープの特徴を最大限いかしていますので、性状の違いに依存することはありません。その結果、精密プロファイル断面計測や、鳥瞰像表示など、0.01ミクロンレベルの分解能の3次元計測が可能となりました。 |
|
|
|
曲率透明材料観察： 
曲率のある透明材料で、半径が小さいガラス材料などの欠陥を観察することが可能です。内部の様子もレーザの微小な反射光がもどる場合には高感度に検出し、状態を輝度やカラーで表示します。
レーザ3次元測定による凹凸計測 ：
急峻な段差のある被写体は、３D表示するとノイズの発生が目立ちましたが、ハードウエアのローノイズ化によって、大幅に改善されています。特に移動平均化処理などによる誤差を、3次元測定の繰り返し数を従来より格段に増やし、平滑化ソフト処理をせずに観測することができました。急峻なパターンも視認しやすくなります。表面の反射率を反映した表示ともに、詳細な段差情報を解析いただけます。高さ（Z）方向のスケール拡大しても、劣化がほとんどありません。 ３Ｄレーザ測定では、詳細な3次元スキャンニングによって、金属、半導体、樹脂など 材料の表面の状態を問わず、均質に３Ｄスキャンをすることができます。測定によって得られた３Ｄデータによってさまざまな形状解析ができます。 SOLIDSCANNERでは、スキャナを共焦点原理に組み込むことで、短時間計測、信頼性向上、、優れたコストパフォーマンスを実現しております。計測時に収集したあらゆるパラメータを保存することで、応用範囲の広がるツールとしてご利用いただけます。 3次元計測では、各測定ポイントにおける凹凸角度計測や、凹凸曲率計測に加えて、表面粗さ計測など 3次元測定によるさまざなな解析を行います。
スキャナのズーム機能によって、最大ｘ８の拡大が可能です。APO対物ｘ100で10ミクロン範囲を0.01um〜0.02um分解能（x
y z 軸方向）で表示します。
|
 |
高度な３次元レーザースキャンニング制御技術と画像データの解析処理能力によって、迅速かつ精密な３Ｄ計測、省スペースで、可搬性に優れた使いやすさを追求しました。さらにネットワーク計測にも対応。３Ｄデジタルマイクロスコープには、微小レーザプローブと３Ｄレーザスキャナを内蔵し、独自技術によって高速かつＳＮ比の向上を実現しております。非常に精密な光軸角度制御を行う３Ｄレーザスキャンテクノロジーによって、金属、半導体、樹脂をはじめ、さまざな被写体材料の表面凹凸の観測が可能となりました。また、ネットワーク機能によって、計測と解析を同時に実現、さらに遠隔操作によって、振動を抑えた環境下での計測が可能となりました。省スペースでの計測、振動環境を整える付属設備も省力化できます。均質な光学スキャンによって得られた３次元測定画像データは、さまざまな形状解析結果を示すことが可能です。SOLIDSCANNERでは、独自の３次元スキャナをコンフォーカル原理等の３Ｄ測定手法を取り入れることによって広視野から微細領域まで、短時間で計測し、信頼性が向上され、長寿命、優れたコストパフォーマンスを達成いたしております。
３Ｄデジタルマイクロスコープでは計測時に収集したパラメータには、座標位置ポイント、反射率、透過率、色情報などがあり、データ解析によって、さまざな３Ｄ測定の応用にご利用いただけます。色の違いによって、濃淡表示では判別しにくい、異質物の有無の確認が可能です。SOLIDSCANNERによる３次元レーザ顕微鏡観察では、各測定ポイントにおける凹凸、表面粗さ、角度計測や、曲率計測に加えて、表面積や色識別、さらには、膜厚計測、透過度など、さまざなな３次元データの解析を行うことができます。従来の３Ｄデジタルマイクロスコープに比べ、１検体に行う計測回数を増やし、ノイズを大幅に改善しました。これによって、３次元計測の優れた繰り返し再現性を実現しております。
３Ｄデジタルマイクロスコープによる金属表面など微細構造評価には、この再現性によって被写体の状態をリアルに再現することが可能です。表面の質感を目視により確認することが可能なのでワイヤフレームによる３次元座標の情報がよりわかりやすくなります。このように３Dデジタルマイクロスコープの計測速度とＳＮ比を、大幅に改善することで、樹脂・紙・繊維材料や着色染料・塗料などの色、反射率、凹凸表面状態などの判別がより精密となりました。３Ｄデジタルマイクロスコープ観察、非破壊・非接触３次元計測にとって便利なさまざまな機能を備えています。さらに、オールインワンに収納するとともに、コストパフォーマンスを追求いたしました。最高のレーザ顕微鏡観察ツールとしてご利用いただけます。レーザプローブを用いたSOLIDSCANNER３次元計測では、各３Ｄ測定ポイントにおける角度計測や、曲率計測に加えて、ＪＩＳ表面粗さ計測などのデータ解析を行います。微細構造体の表面積の計測など、サンプルを問わず、その表面状態に応じて、センサ感度のダイナミックレンジを自動調節することにより、３軸の座標位置を鮮明にとらえることが可能です。本製品にはスキャンニング制御の独自技術を内蔵するとともに、光学パターンの読み込みを同時に行うことで、視野の広いものから微細なものまで、高速多点による３次元計測によって、連続して被写体を計測します。これによって、ホワイトノイズなど従来のノイズ除去性能を一段と向上しております。複数回の３次元計測はレーザ測定のＳＮ比を向上することとともに、外乱にあたる振動条件下でも高精度に計測できます。環境を問わない点はレーザ顕微鏡観察や３次元計測機器には必須条件となっており、被写体の表面状態をよりリアルに再現できるようになりました。
|
|
|
|
 |
|
