レーザ３次元計測製品｜非接触３次元計測器　SOLIDSCANNER　３次元計測性能価格

< REALITY（高解像度）　< NETWORK & MOBILITY　　 < MEASUREMENT（計測性能）
< ANALYSIS（加工・解析性能）　　 < SAVE TIME（高速性）　　< 仕様,原理　　< Products top

レーザ３次元計測製品、非接触３次元計測器の計測速度 ■レーザー計測に関する速度向上。 ■３次元計測、形状計測、表面凹凸・粗さ計測をより速く。 ■焦点法を生かした精密計測と計測速度の改善、操作性、省スペース、そして価格性能。 ■低倍率撮像から高倍率観察までの応用用途。 ■品質保証のための最適ツール

■　プロファイルシステムにおいては、さらなる計測時間の向上を実現。0.01um単位のレーザビームのXY・Z走査時間の短縮化や画像取得の効率化、計測位置の割り出しアルゴリズムに加えて、最新ハードウエアテクノロジによって制御・画像処理時間を向上させました。ネットワークによる計測と解析の同時進行により、セッティングから計測、解析まで、プロセス全体の高速化、トータル作業時間の大幅な短縮を実現しました。試料セッティング時にフォーカス位置を自動的に検知する「オートアプローチ機能」を搭載。　 ■　非接触焦点法による３次元形状測定結果は、レーザを使用した視認性の高い、高輝度像から得られます。SOLIDSCANNERでは、従来のマイクロスコープでは、判別しづらい輪郭が鮮明になりました。校正精度は国際標準のレーザ測距技術であるダイナミックキャリブレータに基づいて１０ナノートル単位で、レーザ３次元測定器のＸＹ方向の視野と高さ方向の検証をしております。測定範囲をダイナミックキャリブレータにより実測し、本製品との計測値と比較します。計測エラーは、高さ方向で6ｍｍスパンに対して絶対精度　6.000mm±0.5um （再現性3σ＝0.05um）。これによりSOLIDSCANNERでは、複数画像による３Ｄ合成が高精度に実現できます。研究開発に加えてライン上や出荷時の「品質保証ツール」としても最適です。



入出管理用の非接触指紋採取技術に３Dレーザスキャナを応用。３軸レーザスキャナはセキュリティ用途へも拡がり、従来の接触条件や濡れ手、脂質、乾燥などに影響されることなく採取画像の質を向上させ、指の膨らみ、表面曲率にも対応します。









■アスペクト比の高い材料の場合、分解能の高い高倍率のレンズを用いてZ軸方向をスキャンすると、計測に膨大な時間を要します。画像内合成ツールを用いれば被写体からの信号がないZ軸方向のスキャンを省略して３D計測を完了することが可能です。100～200ミクロンの段差があるような下図試料を例にとるとサブミクロン分解能を有する計測は通常２００／０．１＝２０００回の計測回数を要しますが。画像内合成ツールを用いた計測では５／０．１＝５０回計測を　2回行うことで　通常の１／２００の時間短縮が可能です。また被写体では表面の反射光の強度が異なる場合が多く、被写体に合わせた感度調整を同時に行うことができるのでより精密な計測が可能となります。

レーザ３次元計測製品、非接触３次元計測器の計測速度